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EUV光刻机意想不到的用途！竟能应用于生物医学 综合资讯
比利时微电子研究中心（IMEC）首次在300毫米晶圆上，用ASML EUV光刻设备实现固态纳米孔晶圆级制造，孔径已缩至约10纳米并有望突破5纳米，且与CMOS兼容，可像芯片一样大规模生产，为高通量生物传感器阵列奠定基础。
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