长期以来，EUV光刻技术一直被主要用于打造最强大的逻辑与存储芯片。
不过比利时微电子研究中心（IMEC）近日首次成功利用ASML的EUV光刻设备，在300毫米晶圆上实现了固态纳米孔的晶圆级制造。
这项进展被ASML公关负责人誉为“意想不到且出色的生物医学应用”。
所谓纳米孔，是直径仅有几纳米的微小孔洞，其精细程度约为人类头发丝的万分之一，在生物传感领域，纳米孔的作用如同“分子检查站”。
当离子电流流过孔洞时，通过其中的分子（如病毒、蛋白质或 DNA）会对电流产生独特的信号，科学家可以根据这些独特的电信号，高灵敏度地辨别分子的尺寸、结构和电荷。
虽然纳米孔在基因组学和蛋白质组学中具有巨大潜力，但过往受限于制造变异性大和集成困难，始终无法实现大规模生产。
imec的突破在于利用EUV技术确保了孔径的高度一致性，目前孔径已精确缩小至约10纳米，未来更有望通过工艺改进突破5纳米。
更重要的是，这种方法与CMOS兼容，意味着生物传感器可以像生产芯片一样在300毫米晶圆上大规模制造。
imec研发项目经理Ashesh Ray Chaudhuri表示，将原本用于芯片制造的EUV基础设施应用于生命科学，已经为高通量生物传感器阵列打开了大门。
